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            product產品及案例

            VAC-W系列HMDS預處理烘箱
            VAC-W系列HMDSyuchuli真空烤箱用于在涂膠前對晶片進行預處理。設備由腔體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統組成。通過多次預抽真空,150oC熱氮加熱,既能達到使硅片表面干燥、潔凈的效果,又能夠有效的防止硅片的氧化和雜質的擴散,并且可以通過加液系統在硅片表面開成HDMS保護膜,從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比,具有重復性好,節省藥液,環保,對人體無害的顯著優點;也可用于晶片其它工藝的清洗??刂撇捎肞LC,人機界面采用觸摸屏,具有可靠性高,操作方便、直觀等特點。
            標準功能:

            u LCC臨時高達500°F(260°C)的LCD溫度。高達662°F(350°C)

            u 真空度可達1托(133Pa)

            u 不銹鋼內部和外部,所有內部接縫連續焊接在絕緣側,以保護腔室免受污染

            u 制具有大型LCD顯示屏,集成數據記錄功能和USB端口,可實現簡單的烤箱設置和數據導出

            u Modbus通信連接,用于遠程監控和記錄

            u 循環結束和高限制聲光報警

            u 可編程門鎖

            u 開放式控制面板

            選項:

            u 數據采集軟件

            u 無油真空泵

            u 自動HMD添加裝置

            u 符合CE標準


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            XXXⅩ69曰本老师

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